合肥芯碁微电子装置公司研发的专利供给了一种用于直写式光刻机的安好防护编造及步骤，旨正在处理运动平台安好防护亏损的题目。告竣主动急停及后续安好办法，巩固筑立安好性，缩短妨碍排查时期。

　　天眼查显示，合肥芯碁微电子装置股份有限公司“一种用于直写式光刻机的安好防护编造及步骤”专利发表，申请发表日为2024年8月9日，申请发表号为CN118466111A。

　　运动平台寻常会正在机台腔体内部进动作作pm电竞，安排职员对运动平台的安好防护认识比力亏弱，如有操作职员正在门板翻开的情状举办机台内部调试或者操作时不提神专利版权，运动平台容易对操作职员形成损害；而且，如平台因某些杂物入侵导致平台运动浮现题目，曝光时未能接纳准确的曝光旅途，会导致做板批量报废。

　　平台运动是凭据上位机软件举办掌管的，若掌管模块浮现题目或者平台遭遇异物时，掌管器可顷刻遏止平台运动并把十分消息反应给上位机，现有本领安好防护计划要紧是纠集正在放板区摆设安好光幕，当操作员的手指遭遇安好光幕时电动门遏止pm电竞，平台也被上位机软件举办急停操作，正在此种防护形式中有几种流毒：平台正在安好防护时pm电竞pm电竞，更多的是关于驱动器自己题目标急停，如线缆损坏或者驱动器偶发报错，欠缺了关于平台的主动急停以及平台急停后的一系列安好防护技能；正在平台急停之后，若不登录上位机软件，操作职员禁止易取得报警消息，同时拉长了排查题目标时期；因为目前是通过软件举办急停以及其他一系列掌管的，若产生通信十分的情状，上位机无法急停平台，恐怕会导致产生一系列安好事项pm电竞，必要一套PLC软件联动以及硬件防护的掌管办法，来到达机台安好防护的最好成绩。

　　本创造公然了一种用于直写式光刻机的安好防护编造及步骤，囊括触发模块，该触发模块用于感觉门板金属发作触发信号；掌管模块，该掌管模块与触发模块毗邻，所述触发模块用于接受触发信号并输出平台急停信号；以及平台急停模块，该平台急停模块与掌管模块毗邻，所述平台急停模块用于接受平台急停信号，使运动平台一共的运动部件失落使能；该用于直写式光刻机的安好防护编造及步骤，与PLC软件联动，到达机台安好防护的最好成绩，处理了现有本领欠缺了关于平台的主动急停以及平台急停后的一系列安好防护技能的题目及操作职员禁止易取得报警消息，同时拉长了排查题目时期的题目。

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